设备组成

该设备主要由石英玻璃真空腔室、真空获得系统、真空测量系统、加热炉及升降机构、循环水系统、气体过滤器、气动系统、阀门及管路、报警系统、PLC电气控制、操作触摸屏及不锈钢设备机架等组成。

1 石英玻璃真空腔室

石英管规格：管外径210mm×长度2200mm

设备规格：长2.65m×宽0.95m×高1.65m

2 真空获得系统

FB600分子泵1台； VRD-8机械泵1台。

分子泵的空载真空度为1×10E-5Pa, 机械泵的空载真空度为0.1Pa。当分子泵工作时，机械泵作为它的前级泵使用。

3  真空测量系统

该设备配有一台数显复合真空计：ZDF-5227。该真空计是由一路皮拉尼电阻真空计和一路热阴极电离真空计组合而成。

测量部分采用睿宝电阻规管ZJ-52T和热阴极电离规管ZJ-27。

测量范围为大气至10⁵～10^-5Pa。

4 加热炉及升降机构

4.1  外形尺寸：宽640mm×高640mm×长1700mm；

4.2  参数：总功率：25KW；分为14路单独加热控温。7个温区长度分布，从左至右分别为150、450、150、250、250、150、200。***方便控温；

4.3  外表包裹镜面不锈钢板，美观大方；

4.4  上下开合行程为：上半炉体80mm；下半炉体80mm。

4.5  测温传感器为铠装Pt100，共分12处，每个温区中央上下各有一处；

4.6  上下炉体闭合处设置人体安全保护光电传感器

    （若有肢体或物体至于上下炉体之间，加热炉将不能闭合）

4.7  升降机构

加热炉的升降由三个气缸实现，其中上半炉的升降由机架

两侧的气缸1与气缸3动作实现，下半炉的升降由气缸2动作实现。

5  循环水系统

冷却循环水接口的位置在机架的右后方，为分子泵提供冷却水循环。为了延长分子泵的寿命，建议循环水选用纯净水。

6  气体过滤器

气体过滤器安装在真空室与泵体之间，采用9层20目不锈钢细网隔离过滤，***避免了在低真空工作阶段，气体抽速较快时泵体对大分子颗粒的吸入，***保护了真空机组。

7 气动系统

本设备中，压缩空气的入口在机架的右后方，气动元件为SMC可调通导阀门（初抽真空时防止粉尘飞扬），气缸，气动阀等。

9  报警系统

  9.1  加热超温报警（控温表指示灯显示，触摸屏文字显示，蜂鸣报警）

9.2  水压、气压报警（触摸屏文字显示，蜂鸣报警）

9.3  真空泄露报警（触摸屏文字显示，蜂鸣报警）

9.4  分子泵故障报警（分子泵电源声音报警，触摸屏文字显示）

9.5  机械泵缺相及过载报警保护（触摸屏文字显示，蜂鸣报警）

9.6  障碍报警（触摸屏文字显示，蜂鸣报警）

10  PLC电气控制系统

   采用工控机与PLC通讯控制。

11  操作触摸屏

触摸屏的尺寸为：12英寸

品牌：昆仑通泰/厦门宇电