设备组成

该设备主要由石英玻璃真空腔室、真空获得系统、真空测量系统、加热炉及升降机构、循环水系统、气体过滤器、气动系统、阀门及管路、报警系统、PLC电气控制、操作触摸屏及不锈钢设备机架等组成。

间温度差温度＜800℃1、加热元件：进口KTL电阻丝,整个炉膛均匀布满20根加热丝，隔热层距离石英的距离为15mm，每个温区之间的隔热层厚度为15mm，高10mm。2、加热区数量：N区N*2点独立控温，温度探头分布于温区中心的上下端，使温匀。法兰为水冷法兰，且与壳体连接方式采用滑轨连接，方便拆卸和更换石英4、升华区温度：室温至800℃，连续可调；保温区温度：室温至400℃可调；恒温温度随时间和空间波动不大于±1℃(测符合国家计量标准JJF 1184-2007)。5、控温方式：人机界面加PLC控制，10寸液晶屏控制，数字工控仪表双控，采智能控温仪表和软件实现双控，采用模糊型PID控制。6、无纸记录：内置存储记录运行工艺数据，外接USB接口，可以电脑连接一键据。7、结构描述：①设备可电动开启，每个温区配备一个风扇，加快冷却速度.②端配备高精度质量流量计500sccm（氮气），准确控制气体流量，可以实现生产展和调整。③系统采用自动化工艺流程，设定好工艺一键操作。工艺重复性高8、过滤方式：系统采用三级过滤保护装置，分别采用5级微孔金属滤网、液氮内嵌式冷凝（液氮冷阱经特殊设计，通过两根连接软管实现注液和排气），液氮冷阱可增加液氮利用率，增加管内气流的的流导性。9、腔体采用多层石英管装置，进出料方便，真空室管不受污染，保持较高的真空度。中层管取料方便，易于清洗，内层料管分段升华后各段料容易区分，能限度的***产品和纯度和产率。（内管选配）10、腔体采用管外控温，防止石英折射和散射造成的温场不均匀现象。11、设备的端面都采用石英密封观察窗，可以全方位***观察生产中材料的提纯情况，配上摄像系统可实现生产升华过程全监控和记录。（可选配）12、抽真空端采用了主管直径250mm的分子泵直连，确保实验中高真空的需求，在直径210mm直管中间加插板阀，插板阀的两端加直径16mm细管旁抽支路，防止在初真空时抽速太大影响分子扩散的方向，导致材料不均