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一、设备主要用途及特点

1、设备用途

真空烧结炉是用高纯电阻丝为加热元件的真空炉，耐火材料与隔热材料均采用陶瓷纤维制品，蓄热量小，与传统耐火砖电炉相比较，电能消耗仅为原来电炉的1/2；电炉重量大大减轻；升温速度更快，可达20℃/min。

供金属化合物、陶瓷、晶体晶片、无机化合物等在真空环境下烧结制品，也可用于金属材料的热处理。主要应用于电容、钽材等金属及由难熔金属组成的合金材料去应力、陶瓷材料碳化硅及氮化硅的高温烧结、也可以供金属材料在高真空条件下的高温热处理、钎焊或贵金属材料的除气处理。

设备结构合理，设计及制造符合相应的国家及行业标准和规范，使用、操作、维修方便简捷，配套产品和元器件具有国际***水平，可稳定、安全、可靠地满足生产需求。

2、主要特点

1) 均匀的加热、可靠的隔热及测温：合理的加热结构，优良的材质，***真空状态下炉温的均匀性，采用品牌测温元件，准确测温。 

2) ***的自动控制及可靠的安全联锁：具有超温报警功能。

二、主要技术参数

a) 设备形式：          卧式

b) 壳体结构：         双层壳体结构外层为碳钢材质、内层为304不锈钢，壳体间为水冷通道。

c) 进料方式：          水平进料

d) 加热形式：          电阻丝

e) 炉膛材料：          真空吸滤成型陶瓷纤维

f) 加热功率：          11KW(整套机组加热功率，含真空泵 水冷机等)

g) 工作尺寸：          深300mm  宽200mm  高200mm

h) 外形尺寸：          长2000mm*宽1250mm*高1850mm

i) 极限温度：          1200℃

j) 工作温度：          ≤1100℃

k) 升温速率：          0-20℃/min

l) 真空度：            10-3pa

m) 控温精度：±1℃、温度均匀性：±5℃

n) 可充气体：          氮气、氩气（惰性气体）

o) 压升率：            ≤3Pa/h（空炉、冷态）

p) 冷却方式            水冷循环快速冷却或真空状态随炉冷却

q) 报警保护            超温报警炉内温度上升达到报警温度时，自动切断电源，报警提示灯亮。

r) 测温方式：           N分度热电偶

s) 冷却水要求：        PH值7.0～8.5，悬浮物固体＜100mg/L，总硬度CaO＜10mg  当量/L，溶解性固体＜30mg/L，电导率＜500μS/cm

t) 使用要求：海拔1000M以下、环境温度0~45度、湿度15%~45%。

三、结构组成

VRSF1200-322主要组成部分有：炉体及炉门、加热室、真空系统、水冷系统、加热电源系统等。

四、设备结构特征

1. 炉体结构

炉体是严格按照国家真空标准设计，炉门的开启、关闭、锁紧操作简单、灵活、***，炉壳为圆形，双层水冷夹套结构、接管采用优质碳钢材质。系统在出厂前均经过严格的气压及真空试验，能够确保设备在长期使用过程中保持压升率小于3Pa/h。系统配有防止气体过充保护装置。

2. 真空机组

2.1. 双层水冷碳钢真空罐体，前后半圆封头。炉门封头与腔体用20mm厚不锈钢法兰连接，内置硅胶圈密封，手轮锁紧。（炉门硅胶圈装有水冷循环保护）

2.2. 真空机组由前级泵、扩散泵组成、真空测量系统、真空阀门组成；

前级泵(一级泵)： 2X-30     真空抽速：30L/S      （产地：上海）

扩散泵(二级泵)： TK-200    真空抽速：2000L/S    （产地：四川南光）

真空测量系统：复合真空计ZDF5227               （产地：成都睿宝）

真空阀门：主抽阀 DN200手动蝶阀

          旁抽阀KF50高真空挡板阀

          压差阀DN50                   充（放）气阀：合资

2.3、充气控制：进气、排气采用电磁阀控制，且有超压自动排气功能；

3. 水冷系统

VRSF1200-30型真空炉分为泵组水冷和炉体水冷，由于真空机组工作时会产生大量热量，为***泵组正常工作对泵体及扩散室冷井进行通水降温；炉体水冷主要是***电极、密封结构免受高温影响，以及达到良好的降温效果。

工业制冷机： ZLJ-1P     压缩制冷    1P      产地：澳大利亚

4.气体控制部分：

4.1.气体接口                              6mm软管接口

4.2.流量控制                              浮子流量计

4.3.量程                                  3-30L/min

4.4气体种类                              氩气  氮气

5.电控系统

   采用标准控制柜，7寸液晶触摸屏温控仪表、配合真空系统、水冷系统、压力控制系统等实现超压、超温、过流等自动报警保护功能，同时，可配合压力传感器实现保护气氛下烧结。温度控制仪具有多段程序，控温精度高。

1.温度控制: PID自动控制温度，数字显示（可编程度30段曲线；全自动升温、保温、降温）上限报警、偏差报警、程序运行结束自动停止、无需人值守；

2.温控仪表线性电流输出，触发器移相触发反并联双向可控硅。

3.控温热电偶采用N分度热电偶

4.警报动作：　
a. 超温报警：炉内温度上升达到报警温度时，自动切断电源，报警提示灯亮。
b. 断偶报警：热电偶开路，仪表报警并自动断电。